紅外技術(shù)之光電探測(cè)器的種類介紹
紅外技術(shù)作為一種高技術(shù),它與激光技術(shù)并駕齊驅(qū),廣泛應(yīng)用于工業(yè)、農(nóng)業(yè)、醫(yī)學(xué)、交通等各個(gè)行業(yè)和部門。紅外測(cè)溫、紅外測(cè)濕、紅外理療、紅外檢測(cè)、紅外報(bào)警、紅外遙感、紅外防偽更是各行業(yè)爭(zhēng)相選用的先進(jìn)技術(shù)。如今開發(fā)的產(chǎn)品已經(jīng)得到普遍運(yùn)用,但是,科技在進(jìn)步,產(chǎn)品也會(huì)更新。接下來我們?cè)敿?xì)介紹光電探測(cè)器這個(gè)在紅外技術(shù)中突顯作用最大之一的產(chǎn)物。
光電探測(cè)器作為紅外輻射光子在半導(dǎo)體材料中激發(fā)非平衡載流子(電子或空穴),引起電學(xué)性能變化。因?yàn)檩d流子不逸出體外,所以稱內(nèi)光電效應(yīng)。量子光電效應(yīng)靈敏度高,響應(yīng)速度比熱探測(cè)器快得多,是選擇性探測(cè)器。為了達(dá)到最佳性能,一般都需要在低溫下工作。光電探測(cè)器可分為:
啊光伏型:主要是p-n結(jié)的光生伏特效應(yīng)。能量大于禁帶寬度的紅外光子在結(jié)區(qū)及其附近激發(fā)電子空穴對(duì)。存在的結(jié)電場(chǎng)使空穴進(jìn)入p區(qū),電子進(jìn)入 n 區(qū),兩部分出現(xiàn)電位差。外電路就有電壓或電流信號(hào)。與光導(dǎo)探測(cè)器比較,光伏探測(cè)器背影限探測(cè)率大于40%;不需要外加偏置電場(chǎng)和負(fù)載電阻,不消耗功率,有高的阻抗。這些特性給制備和使用焦平面陣列帶來很大好處。
光導(dǎo)型:又稱光敏電阻。入射光子激發(fā)均勻半導(dǎo)體中的價(jià)帶電子越過禁帶進(jìn)入導(dǎo)帶并在價(jià)帶留下空穴,引起電導(dǎo)增加,為本征光電導(dǎo)。從禁帶中的雜質(zhì)能級(jí)也可激發(fā)光生載流子進(jìn)入導(dǎo)帶或價(jià)帶,為雜質(zhì)光電導(dǎo)。截止波長由雜質(zhì)電離能決定。量子效率低于本征光導(dǎo),而且要求更低的工作溫度。
量子阱探測(cè)器(QWIP):將兩種半導(dǎo)體材料A和B用人工方法薄層交替生長形成超晶格,在其界面,能帶有突變。電子和空穴被限制在低勢(shì)能阱A層內(nèi),能量量子化,稱為量子阱。利用量子阱中能級(jí)電子躍遷原理可以做紅外探測(cè)器。90年代以來發(fā)展很快,已有512×512、64 0×480規(guī)模的QWIP GaAs/AlGaAs焦平面制成相應(yīng)的熱像儀誕生。因?yàn)槿肷漭椛渲兄挥写怪庇诔Ц裆L面的電極化矢量起作用,光子利用率低;量子阱中基態(tài)電子濃度受摻雜限制,量子效率不高;響應(yīng)光譜區(qū)窄;低溫要求苛刻。人們正深入研究努力加以改進(jìn),可望與碲鎘汞探測(cè)器一爭(zhēng)高低。
光發(fā)射-Schottky勢(shì)壘探測(cè)器:金屬和半導(dǎo)體接觸,典型的有PtSi/Si結(jié)構(gòu),形成Schott ky勢(shì)壘,紅外光子透過Si層為PtSi吸收,電子獲得能量躍上 Fermi能級(jí),留下空穴越過勢(shì)壘進(jìn)入Si襯底,PtSi層的電子被收集,完成紅外探測(cè)。充分利用Si集成技術(shù),便于制作,具有成本低、均勻性好等優(yōu)勢(shì),可做成大規(guī)模(1024×1024甚至更大)焦平面陣列來彌補(bǔ)量子效率低的缺陷。有嚴(yán)格的低溫要求。用這類探測(cè)器,國內(nèi)外已生產(chǎn)出具有像質(zhì)良好的熱像儀。Pt Si/Si結(jié)構(gòu)FPA是最早制成的IRFPA。
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